亚搏手机app下载 天科合达央求带蜡碳化硅晶片清洗法子专利, 晶片金属含量可达到小于5E10步骤

国度常识产权局信息表露，北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司央求一项名为“一种带蜡碳化硅晶片的清洗法子”的专利，公开号CN121514216A，央求日历为2025年12月。

专利摘录表露，本央求公开了一种带蜡碳化硅晶片的清洗法子，包括：将碳化硅晶片轮换放入去蜡槽、第一滚水超声槽、第一纯水槽、稀酸槽、第二滚水超声槽、第二纯水槽中进行浸泡清洗，干燥与氮气吹扫干燥晶片；所述去蜡槽、第一滚水超声槽、第一纯水槽、稀酸槽、第二滚水超声槽、第二纯水槽的下方均竖立顶刀装配，顶刀装配与碳化硅晶片下部点战役。本央求通过该法子清洗后不错使得过程化学机械抛光的碳化硅晶片名义无蜡迹残留，晶片金属含量可达到小于5E10步骤，颗粒数目小于30个（0.3微米以上），ag国际同期延伸药液使用寿命，有用缩小成本，大大擢升清洗成果。

天眼查贵寓表露，北京天科合达半导体股份有限公司，开拓于2006年，位于北京市，亚搏是一家以从事野神思、通讯和其他电子开拓制造业为主的企业。企业注册成本50600万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京天科合达半导体股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标名目313次，财产陈迹方面有商标信息42条，专利信息244条，此外企业还领有行政许可149个。

江苏天科合达半导体有限公司，开拓于2018年，位于徐州市，是一家以从事野神思、通讯和其他电子开拓制造业为主的企业。企业注册成本35000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，江苏天科合达半导体有限公司参与招投标名目93次，专利信息140条，此外企业还领有行政许可27个。

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